X射線光電子能譜儀（XPS）
生產廠家：Supra XPS
設備型號：AXIS-SUPRA
主要技術指標：
1.能量掃描范圍：-5～3000eV（XPS）；
2.最佳能量分辨率：≤0.45eV（XPS），100meV（UPS）；
3.最佳空間分辨率：≤3 μm (X射線光電子成像)；
4.分析室最佳真空度：優于2*10-10 mbar；
5.分析室工作時的真空度：～2*10-9 mbar（打開X射線源的情況下）
應用范圍：
光電子能譜是研究材料表面和界面電子及原子結構的最重要手段之一，可提供物質表面幾個原子層的元素定性、定量信息和化學狀態信息（3-92號元素）；可對非均相覆蓋層（如薄膜）進行深度分布分析，了解元素隨深度分布的情況；可對元素及其化學態進行成像，給出不同化學態的不同元素在表面的分布圖像；還可利用UPS（紫外光電子能譜）研究固體樣品的價電子和能帶結構及功函數。廣泛應用于固體物理學、基礎化學、催化科學、腐蝕科學、材料科學、微電子技術及薄膜研究。
樣品要求：
1. 檢測元素：3-92號元素
2. 樣品無放射性，無腐蝕性，無磁性，無毒性；
3. 樣品不吸水，在超高真空中及X光照射下不分解，無揮發性物質（如單質Na，K，S，P，Zn，Se，As，I，Te，Hg或者有機揮發物），避免對高真空系統造成污染；不大量放氣（尤其是腐蝕性氣體）；若含有高揮發性分子或coating，請務必先行烘烤抽除；高分子樣品在送樣前須進行干燥處理。
4. 樣品須為固態樣品（片狀、塊狀或粉末）：
（1）粉末樣品：徹底干燥，研細，無揮發性，無腐蝕性，不易變質，樣品量20 mg以上；
（2）塊狀樣品：面積小于10 mm*10 mm，高度不超過2 mm（表面要平整）；
（3）薄膜樣品：面積小于10 mm*10 mm（測試面要做好標記）。
測試項目及價格
XPS測試（表面及深度）：240元/樣（窄掃元素數量3個之內，每多一個元素20元）
XPS測試（mapping）：500元/樣
紫外光電子能譜UPS測試：400元/樣
測試說明
1. 含量小于2 %的元素有可能測不出明顯信號，具體要看元素的靈敏度，如元素的含量比較低需注明，我們會適當增加掃描次數。
2. 元素窄掃默認測試最強峰，如最強峰和其它元素的峰有重疊默認測試次強峰，如需測試其它軌道需注明，一個元素同時測試多個軌道按多個元素計費。
3. 具有放射性、粘稠潮濕的、易揮發性、不穩定的物質和強酸強堿性樣品無法測試，例如 S、Na、K 金屬單質， Fe 塊，金屬氟化物等。
4. 單次刻蝕深度不超過 20 nm，總刻蝕深度不超過 50 nm。刻蝕前后均測試，不收取中間的刻蝕費用，只收取相應次數的測試費用。
5. XPS定量分析屬于是半定量分析，誤差較大。特別是對于C元素定量以及多孔材料的元素定量。
6. XPS測試總會有污染碳的存在，用于校準（C 1s：284.8eV），刻蝕可以避免污染碳的出現。