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 報告題目：等離子體納米涂層制備技術(shù)及應用

 報告時間：2023年9月21日（星期四）14:00-16:00

 報告地點：材料與冶金學院523會議室

 主辦單位：材料與冶金學院

 報 告 人：周艷文

 報告人簡介：周艷文，1966年4月出生，英國索爾福德大學表面工程專業(yè)博士，2005年入職材料與冶金學院，教授。主要從事微、納材料的功能化及表面改性研究。先后獲得國家自然科學基金資助6項，遼寧省優(yōu)秀人才項目、遼寧省科技廳重點實驗室項目等多項科研項目，并帶領(lǐng)團隊獲批4項國家自然科學基金。在《Applied Surface Science》《Journal of Alloys and Compounds》《Surface & Coatings Technology》等期刊上共發(fā)表SCI等檢索論文100余篇，發(fā)明專利10余項。

 報告內(nèi)容簡介：磁控濺射技術(shù)是一種利用電磁場來控制真空腔體內(nèi)氣體“異常輝光放電”中離子、電子的運動軌跡及分布狀況的濺射鍍膜的物理氣相沉積技術(shù)，其具有沉積溫度低、沉積速度快、所沉積的薄膜均勻性好，成分接近靶材成分等眾多優(yōu)點。等離子體增強磁控濺射技術(shù)（PEMS）引入熱絲作為電子源，能夠增加磁控濺射系統(tǒng)中的等離子體密度，從而控制沉積薄膜或涂層的結(jié)構(gòu)，報告人以等離子體密度為切入點，介紹等離子體密度對于功能涂層的結(jié)構(gòu)、性能的影響，并展示等離子體納米涂層的應用成果。